根據誤差的性質和成因的不同，通常可分解為表面粗糙度、表面波度和形狀誤差。

  表面粗糙度是加工表面上具有較小間距和微小峰谷所組成的微觀幾何形狀特性。這種情況，由于在加工過程中，刀具從零件表面上分離材料時的塑性變形、機械振動及刀具與被加工表面的摩擦而產生的，因其起伏甚微，故可稱其為微觀不平度。這種微觀的不平對零件摩擦、磨損、抗疲勞、抗腐蝕，以吸零件間的配合性能等有很大影響。不平的程度越大，則零件的表面性能越差；反之，則表面性能越高，但加工費用也必將隨之增加。因此，標準擬定了零件表面粗糙度的評定參數，以便在保證使用功能的前提下，選用較為經濟的評定參數值。